反向电压40V或60V桥式整流电路的集成制造的进程
来源：大鱼游戏官网 发布时间：2025-12-28 09:37:31本发明是一种反向电压40V或60V桥式整流电路的集成制造方法,过程为:a,衬底硅片清洗b,初始氧c,埋层光d,注入砷e,砷退火f,漂片g,清洗:h,初始氧化i,下阻隔光刻j,注入硼,k,下阻隔推结m,漂片n,清洗o,外延,P,衬底硅片清洗Q,初始氧化R,上阻隔光刻T,硼分散U,阻隔分散V,漂硼硅玻璃W,清洗X,氧化Y,N+光刻Z,清洗AA,磷分散BB,磷再分散CC,P+环光刻DD,硼离子注入EE,退火FF,引线孔光刻GG,清洗HH,Ni势垒金属蒸腾II,硅化物构成JJ,Ni硅化物腐LL,正面金属Al蒸腾MM,金属反刻.长处:选用这种工艺电路一致性好,封装体积小,封装良率高.
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